二手 ZEISS CDC32 #9222612 待售

製造商
ZEISS
模型
CDC32
ID: 9222612
晶圆大小: 6"
优质的: 2012
Critical dimension controller system, 6" 2012 vintage.
ZEISS CDC32是一种用于光刻工艺的口罩生成和生产设备。它基于IBM兼容的PC工作站和ZEISS SEM8900扫描电子显微镜(SEM)。蔡司CDC 32系统结合了先进的SEM技术和基于软件的单元。该SEM8900是一种提供高分辨率成像的场发射扫描电子显微镜,用于创建和修改光掩模。它配备了包括二次电子和反向散射电子探测器在内的多种探测器,能够对标本上的各种特征进行成像。基于软件的计算机包括一个图形用户界面(GUI),它允许用户轻松创建和操作照片掩码设计,以及一个数据库来存储生成的设计。CDC32工具具有多种功能,可以进行高效的掩模设计。首先,它有一个特征提取工具,可以识别标本上太小而无法用眼睛或传统光发射曝光技术识别的特征。它还具有"转键"功能,允许用户将多个图像上载到数据库中,而无需手动操作设计。此外,资产还配备了z轴扫描,以提供三维图像。CDC 32模型能够为各种应用程序创建高度精确的掩码。它提供了多种设计选项,如六边形、分形等。设备还提供各种设计参数,如尺寸、位置、凹槽深度和梁笔尺寸。此外,基于软件的系统允许对蒙版进行设计后修改,以添加、修改或删除图像特征。最后,该单元提供了光刻工艺控制工具。这些工具包括过程参数,如剂量和暴露时间。该机器还能够提供有关光刻工艺的反馈,以便对工艺进行优化。综上所述,蔡司CDC32工具是一种功能强大、用途广泛的面罩生成和生产工具。它基于SEM8900扫描电子显微镜和基于软件的资产,它提供了多种工具和功能以实现高效的掩码设计和操作。它能够为各种应用创建高度精确的掩码,并且可以提供有关光刻工艺的反馈以进行工艺优化。
还没有评论