二手 ADE / KLA / TENCOR 351 #9390213 待售
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ID: 9390213
优质的: 1995
Wafer handling robot
Main body:
MLS
Robot and controller
Stage
Blue line laser
He Ne Laser
Board
KLA 50:
PC
Board
Power
IC:
Power supply
Board
SBC
KLA / TENCOR 95i:
PC
HDD Socket
SMIF:
ARM
Drive controller
1995 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 351是为高速和高精度而设计的先进的掩模和晶圆检测设备。它能够检测最小特征宽度为1.5 μ m的高达3 nm分辨率的缺陷。该系统采用双高分辨率光学传感器和激光共聚焦显微镜,提供高通量,能够每小时检查多达一百个晶片。该单元采用两个高速、高分辨率激光显微镜,同时测量半导体晶片的地形和拓扑特征。该机器能够以高分辨率和高速度获取数据,使其能够实时提供每个晶片的完整视图。这有助于检测和纠正在手动检查过程中可能遗漏的任何缺陷。此外,该工具完全自动化,具有自动检测、分类、测量和分析功能。该资产建立在ADE ASPECT™平台上,采用Focus™技术,保证晶片表面信号的均匀采集。该模型还提供了一个宽光谱波段,使得它适用于集成电路(IC)检查跨越不同的光学频率。ADE 351的交互式用户界面使其易于使用,并使其易于与手动和自动缺陷审查流程集成。此外,该设备还能够进行实时图像捕获和数据分析。它还配备了多种设置来调节对比度灵敏度、图像分辨率或色彩空间。该系统在检测和定位缺陷方面既经济高效又可靠,是半导体制造行业的宝贵资产。无论是故障晶片还是高级IC, KLA 351都能胜任这项任务,从而为各种应用程序生产出完美的组件。
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