二手 ADE / KLA / TENCOR AWIS 3110 #293816349 待售

ADE/KLA/TENCOR AWIS 3110是设计用于半导体制造的自动化掩模和晶圆检测设备。它能够对光学掩模和晶片进行可重复和可靠的检查,使半导体制造商能够快速可靠地识别其制造过程中的任何潜在缺陷。该系统由一个六轴机械臂、一个下划线光学单元、一个用于基板支撑的500 mm级以及一个统计采样算法组成，该算法能够评估掩模和晶片上的潜在缺陷。机械臂设计用于快速检查基板上的多个区域，帮助确保覆盖任何有缺陷风险的区域。下划线光学机器可确保检测到低级缺陷,而500 mm级则为处理基板提供了充足的空间。该工具还配备了多种图像数据分析算法。这些算法可用于自动检测掩码和晶片上的任何相关特征，包括亚微米大小的特征。该资产还能够承载广泛的检查算法，包括用于改进表面特征检测的边缘检测、自动线宽测量以及用于改进对比度检测的效率计算。最后，ADE AWIS 3110还包括数据管理功能。这使用户能够存储检查结果,使他们能够快速有效地查看和比较多次运行的结果。这有助于提高检查过程的速度和准确性。总体而言，KLA AWIS 3110是一种有效可靠的掩模和晶圆检测模型。它提供了一套全面的功能，从机械臂移动和下划线光学系统到图像数据分析算法和数据管理能力。这确保了用户能够快速、精确地识别其基板上的任何底层缺陷,有助于提高半导体制造过程的效率和可靠性。