二手 ADE / KLA / TENCOR CR-81 #9102576 待售

ADE/KLA/TENCOR CR-81是为半导体和集成电路制造行业设计的先进的事件驱动掩模和晶圆检测设备。它能够以无与伦比的速度和精度测量和分析位于晶片和掩模上的临界薄膜层的缺陷。该系统包括ADE（Advanced Defect Evaluation）、KLA（TENCOR）、ADE/KLA/TENCOR（TEM Imaging）三个行业领先品牌的三项技术。这种组合汇集了用于掩码和晶片检查的高级功能,这些功能不仅限于成像,还可根据原始图像数据检测微小缺陷、异物,甚至隐藏缺陷。ADE CR-81利用专门的扫描电子显微镜（SEM）相机生成晶圆或掩模表面令人叹为观止的详细3D图像。这使得它能够检测到低于大多数其他检查系统分辨率的表面和地下缺陷。该单元使用高级算法执行缺陷分析,该算法可以自动识别3 D图像数据中的可疑形状和模式,并标记它们以供进一步检查。在过程的任何时候，操作员都可以采取手动控制，并进一步分析标记的缺陷。KLA CR-81与一个检查机器人集成在一起，使它能够自主检查大批量晶片或口罩。这使操作员比手动系统提高了效率。除了上述功能外，该机还带有用于故障隔离和分析的内置软件工具。这有助于工程师了解缺陷的来源,并迅速实施纠正措施以消除将来的缺陷。总之,TENCOR CR-81是一种功能强大、功能强大的掩模和晶片检测工具.它结合了先进的检测技术和集成的机器人，使其能够快速准确地检测到甚至微观尺度的缺陷。由于能够快速隔离和分析这些缺陷的来源，CR-81是各种集成电路制造过程中的宝贵工具。