二手 ADE / KLA / TENCOR CR-83 #9115144 待售

ADE/KLA/TENCOR CR-83是为现代半导体制造而设计的高精度掩模和晶圆检测设备。它是一个模块化且可扩展的系统,具有卓越的灵活性和可扩展性,结合了高端光学、高速成像和高级计量技术,提供一流的缺陷检测。ADE CR-83旨在检查各种复杂的基板,包括光掩模、标线和晶片,包括任意图样和设计布局。该装置还能够检查暴露的硅片是否有小颗粒缺陷，如颗粒、空隙、外围瘀伤和丘陵。KLA CR-83由光学构型、二维检测器阵列和各种采样级组成.光学器件的设计可以适应从可见光谱到紫外线光谱的各种照明波长范围。此外，可以调整工作距离，以最大限度地放大要检查的图样。探测器阵列由两台高分辨率固态摄像机和一台激光干涉仪组成。该探测器阵列设计用于快速、精确和三维测量。机器还包含一个样品旋转阶段，允许样品以不同角度进行检查。此外，样品表可以调整到不同的高度，容纳不同类型的基板。该工具还可与自动聚焦和自动对准系统集成在一起，用于精确控制和自动检查。此外,TENCOR CR-83还提供了一组独特的图像处理工具来查找缺陷并确定其优先级,以便进行快速分析。这些工具基于溷合的模式识别算法、光学处理、阈值和图像比较。这使用户能够确定关键缺陷的优先级,以便进一步分析。CR-83还具备先进的计量能力，能够对缺陷进行详细的表征。这包括使用X射线和电子显微镜、化学蚀刻和原子力显微镜，以确保准确性和可靠性。ADE/KLA/TENCOR CR-83是半导体制造的绝佳选择,提供卓越的精度、可扩展性和灵活性。凭借其广泛的特点和功能，该资产可以进行高精度的掩模和晶圆检查，快速识别缺陷，为半导体制造提供最高质量的保证。