二手 ALLTEQ LFI 3010 #9028586 待售

ALLTEQ LFI 3010掩模和晶圆检测设备是一个自动化、高精度、非接触式、三维检测和计量平台,专为半导体制造商或其他需要缺陷检测能力的行业而设计。利用硅晶片表面上的激光干涉测量方法，精确检测、分析、测量异物、瑕疵等异常。该系统由多轴级、激光干涉仪、照相机、连接计算机的监视器、激光源和自动控制软件组成。舞台被设计成围绕一个样品旋转，让激光束追踪晶圆的表面轮廓。激光干涉仪在三个维度上测量表面轮廓，精度为1nm。单色数码相机在晶圆表面上拍摄反射物体和模煳的图像。激光光源将遮罩上的图样照射到晶圆上，以检测3纳米缺陷。软件单元被编程为识别和检测小至3纳米的缺陷和表面轮廓的偏差。它可以检测到各种异物，如粉尘、划痕、污染和其他非均匀性。机器可以被编程为扫描整个晶片，检测缺陷，对其进行表征，以3D方式进行测量，并根据严重程度进行分类。一旦发现缺陷,将根据严重程度对其进行分类,并生成3D图像。LFI 3010设计方便用户且易于操作。它配备了方便的图形用户界面（GUI），允许用户监控自动视觉工具并访问其功能。资产的自动化操作允许用户快速捕获、分析和评估晶圆上的缺陷。ALLTEQ LFI 3010非常适合半导体公司或任何其他需要检测和分析缺陷和缺陷的行业。它是质量控制、快速解决问题和产品开发的宝贵工具。LFI 3010具有超高精度和非接触式三维检测和计量功能,是测量和检测严重缺陷和缺陷的经济高效的解决方桉。