二手 ALLTEQ LFI 3010 #9266249 待售

ALLTEQ LFI 3010是一种通用的自动掩模和晶圆检验解决方桉,旨在提高半导体制造的质量保证。LFI 3010凭借其先进的光学计量设备，不仅检测了各种基板上的缺陷，还测量了掩模本身的关键结构。系统使用先进的图像处理和镶嵌技术，创建一个连续的全视野，没有缝合或重复。这样就可以对整个图层或字段进行一次扫描,以快速准确地检测缺陷、测量和表征。ALLTEQ LFI 3010还具有微分解和宏分解成像功能的独特组合。在微观层面，该单元利用先进的反向散射图像来识别和测量细粒度结构上的底层缺陷和关键结构。在宏观层面，使用对比度和反向散射图像的组合来识别和测量各种基板上的表面缺陷，如针孔。此外，机器还配备了全自动缺陷分类流程，快速准确地识别缺陷类型、其大小、形状等特点。这可用于触发适当的故障分析方法,以识别和排除生产线中的问题。总体而言,LFI 3010是一种高效可靠的掩模和晶圆检查工具,具有令人印象深刻的一系列功能。利用先进的成像和缺陷分类算法，该资产能够轻松地检测和测量各种缺陷和缺陷。此外,它的自动化缺陷分类过程简化并简化了缺陷分析过程,从而提高了生产线的效率。