二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass 200 #9280961 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass 200是一种综合性的掩模和晶圆检测设备,可对尺寸为0.25 µm的先进结构进行表征。该系统具有高分辨率成像能力,可实现高精度光学检查,提供卓越的聚焦深度和边缘分辨率。它是一个集成了一系列软件工具的解决方桉，可以为不同的模式检查任务快速设置和优化过程控制。它与行业标准的Allegro掩模检查套件集成在一起，提供高达每小时200晶圆的高效吞吐量。该单元设计用于执行一些关键测量，如迭加对准和光刻验证。采用先进的CCD和激光二极管技术进行晶圆选件，采用视频对准激光器进行掩模对准，确保了光滑可靠的图样检测结果。该机器还得益于高精度的机械元件和完全自动化，从而确保了可重复的结果。这样可以确保满足客户的所有要求。此外,AMAT Compass 200还提供了Paragon模式识别功能,用于更复杂的结构,如接触孔、通孔和掩模模式内的线条。此功能允许基于规则的内置识别每个特征的各个特征,并提供测量其大小和间距的功能。这减少了检查过程的时间和工作量,并提高了准确性。该工具还具有3D成像模块,提供卓越的深度提取精度和增强的质量控制。这将有助于减少缺陷或返工的数量。此外,它还有大量预定义的CD变体和流程节点库作为后盾,以进行有效的掩码审查,从而帮助节省时间和准确的结果。APPLIED MATERIALS Compass 200掩模和晶圆检测资产的综合软件解决方桉和硬件功能确保了高精度的结果和快速的检测速度。这对他们的客户有利,因为它确保了精确的光刻验证,并改进了流程控制的工作流程。