二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #293607489 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300是一种高分辨率的掩模和晶圆检查设备。该系统为晶片样品提供空中和聚焦成像，提供准确可靠的方法和快速采集时间，以便进行完整的检查。该单元适用于多种检测场景，如晶圆厂参数自动检测、CRM检测等。AMAT Compass Pro 300包括控制器、步进电机和运动控制级,以及易于操作的用户友好触摸板显示器。它还提供高功率二极管泵浦固态（DPSS）激光器，宽波长范围为370至1050 nm，高重复率为10 kHz。2 x 2"或4 x 3"视场与PIN二极管和IRCCD相机传感器相结合,可实现分辨率低至1 μ m的对焦成像。此外,CCD摄像机提供256个灰度和4毫秒全场曝光时间。该机具有自动化的多重运行模式，以确保精确和可重复的参数扫描，而主动照明控制工具则允许激光功率和扫描速度等可调节的操作参数。软件选项包括手动和自动控制模式,以及自动缺陷检测和分类资产,以提供快速、准确的检查结果。该型号还配备了可选的模具级检测（DLI）样品级，提供了方便检测模具级部件的能力。DLI设备包括样品处理自动化、自动晶片级定心和表面跟踪以及模具级自动对焦和缺陷分析。此外,APPLIED MATERIALS Compass Pro 300还配备了多种配件,包括用于产生高偏振对比度SV图像的透镜和滤镜转塔、前端透镜、光束采样器、衰减器以及可选的热板。该系统有保护性大气版本，适用于检查受控大气下的关键部件。Compass Pro 300是一个用户友好的单元,旨在提供精确可靠的结果,快速准确地检查口罩和晶片。它支持各种检查方桉,包括可选的模具级检查和一系列附件,所有这些都安装在适合现有晶圆厂环境的紧凑机器中。高分辨率成像、快速采集时间和自动化过程控制使其非常适合各种检查要求,并有望彻底改变关键组件的检查。