二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #9220617 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300
已售出
ID: 9220617
晶圆大小: 12"
Patterned wafer inspection systems, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 Mask&Wafer Inspection设备是一种高精度、非接触式系统,旨在对Mask和Wafer表面进行快速、准确、可重复和低成本的分析。该单元提供了有关掩模或晶片的正面和背面的详细信息,从而实现了高产量和高效的过程控制。该机由电动x-y扫描级、数字成像检测器、集成光学工具组成,协同工作,达到最佳检测分辨率和吞吐量。扫描级由精密步进电机驱动,为详细分析表面特征提供了卓越的精度和较低的步进尺寸。数字成像检测器提供高分辨率图像,并允许选择和比较掩模或晶片的不同区域,以便与其他分析技术进一步关联。它还具有强大的校准和对准能力。集成的光学资产可确保光源被快速、精确地捕获、传输和传送到成像探测器,以实现完整的图像捕获。除了提供详细的表面分析,模型还提供特征和缺陷检测。它具有检测模式失真、缺陷、污染物和其他感兴趣特征的先进算法。它还包括一个减速光源,以提高性能在更高的吞吐量。AMAT Compass Pro 300 Mask&Wafer Inspection设备是一种功能强大的工具,可用于全面的Mask和Wafer分析。它有助于实现高收益,并使用户能够领先于竞争对手。其准确性和可重复性使其成为先进光刻和半导体工艺质量控制的理想选择。
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