二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #9235264 待售
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ID: 9235264
Patterned wafer inspection system
Sun UltraSparc (10) Unix workstations (RAM: 1GB, 40 GB)
HD With spare SCSI card and 20/40 GB tape drive
1140-A0291W / J20-8S-12K-24
1140-A0291W / J20-8S-12K-23
Spectra-physics 0412-0515 US / 0135-0968 Rev B
ASYST C0094-0948-01
ASYST 6900-1551-01 FI computer SmartPlus 1.83
100395-0311/00 Rev C / Cable X-axis motor encoder hall
SKU-G7-K-2317-1 Master IP computer
1951608 / IP1 Genesis camera interface cable
1951363 / 740-26817-AD IP1/ADC1, 0090-A0780
ACS DR14 Rev B2 Compass 300 X-Axis driver PCB
370-1586-03 / NESUN1 Sun compact mouse
Cooling fan sparcstation: 12 V
ANORAD Commutation x,y sq box
Rocketport interface bd in FI computer
ASYST IsoPort, 300 mm (LP B)
ASYST 2200 LP with MOCA (200 mm)
Video card in Sun Sparcstation (2) computers
Aligner and stage to FA blade
Light from SP laser head: 532 nm
Light laser diode: 808 nm
LP Cassette ID (Port A and Port B) communications
Rocket port interface board
Back-up tapes and sun solaris Sparcstation (2) PC
OLYMPUS Microscope with white light lamp, 50 W
4610 HLX, 50 W, 12 V
SP Laser head: 532 nm (light)
Ultra-Sparc (10) unix workstation
RAM: 1 GB (HD: 40 GB)
Laser detectors: 1.1 W, 28.5 A / 16.5 Degree Cd
Laser output: 2.4 W, 31.92 A / 16.42°C
Laser diode (current very high)
Laser head and diode testing
Rocketport breakout box has been replaced
(4) FFU Fans
6900-1551-01 SmartPlus 1.54, Patch 1, OS NT4.0, SP 6
Compass 300 X-Axis motor hall encoder cable, 25"
Master IP computer
Compass 300 Dark field detector
With IP1 Computer cable and (2) detectors
EDR PMT Detector assy
X-Axis driver board
Sun compact mouse with live host tool
Does not include camera IP1 interface cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300是一种面罩和晶圆检查设备,旨在帮助在半导体行业内工作。该系统对掩模和晶片上的结构进行深度计量检查和成像。这个单元的控制软件，综合晶片检查（CWI），让用户能够检查有图样的和无图样的晶片，并通过一个全面的计量和成像平台对它们进行彻底的检查。该机由两个集成组件组成，即刀具的控制台及其成像站。控制台容纳资产的机动化阶段，这些阶段控制样品的位置，并提供真空、压缩空气和其他必要的气体。此组件还包含用于精确测量和成像的模型的探测和成像元素。成像站包含一个高分辨率CCD（电荷耦合器件）相机，用于捕捉和鉴定标本表面上的结构或特征。该设备旨在利用光学技术通过测量和成像能力检查半导体形状和图样。它可用于识别整个试样中关键尺寸的错位和变化,以及用于缺陷检测。它还可以运行光源聚焦算法（LSFA）以分析晶圆图像。利用光学和激光干涉测量相结合的系统可以测量样品及其结构的地形，从而创建样品表面的三维显微图以查看微观结构。该单元的传感器和探测器有助于识别、确认和分析样品上的不良缺陷。该机还配备了专门的工具，用于自动故障分析和维修跟踪。AMAT Compass Pro 300是一款功能强大的工具,可提供可靠、准确和可重复的结果,用于检查半导体行业中的掩模和晶片。其先进的控制软件和全面的检测能力使其成为质量保证和生产控制的绝佳工具。它体积小巧,易于使用,非常适合大多数实验室和生产设施。
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