二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass #9195370 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Compass
已售出
ID: 9195370
优质的: 2001
Wafer inspection systems 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass是一种用于制造半导体器件的掩模和晶圆检验设备。它是一个提供集成光学和电气测试功能的高通量检测平台。该系统能够检查大型半导体制造中的掩模、晶片和其他元件的质量。该单元由多轴自动显微镜、CCD/CMOS相机、高速运动控制机、图像处理器、特征识别单元和晶圆基板支架组成。显微镜用于检查掩模或晶片的结构,而相机则捕获每一个特征的图像。然后,图像处理器对相机捕获的每个图像执行单次特征识别,从而允许工具识别潜在的缺陷。运动控制资产允许显微镜在标准手动检查模式(由用户定义的区域完成)和重复模式(使用自动模板)下精确扫描掩码和晶片。这样可以在最短的时间内有效扫描大面积区域。此外,AMAT Compass还集成了高级功能,可精确检测模煳、难以检测的缺陷以及用户定义的警报阈值。此外,它还具有增强的缺陷记录和报告功能,使数据挖掘能够进行进一步分析。该模型还具有一个晶片基板支架,可以方便样品装卸,以及用于移动重型样品的多级样品支架。该设备还能够检查和纠正多个缺陷、图样和对准。此外,此系统已通过众多测试标准的认证,并且可以配置为满足任何应用程序的确切测试需求。APPLIED MATERIALS Compass是一个多合一、高通量的单元,旨在提高整体检测精度和工艺速度。该平台非常适合进行掩模和晶圆检测以及其他设备制造项目。它结合了高级特性和功能,使制造商能够在整个过程中保持高水平的质量。
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