二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Complus 3 #9353217 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Complus 3是一种为半导体生产而设计的掩模和晶圆检验设备。它是一个全面的IC掩模和晶片的检测和测量系统，然后才能制造芯片。该单元由晶圆检测站、对准机、子系统和主机计算机组成，用于数据处理、分析和报告生成。该工具具有高分辨率扫描电子显微镜（SEM），用于掩模和晶圆表面的高分辨率成像。它用于创建IC掩码和晶片的2D和3D图像。资产使用自动和手动工具的组合来检查掩模和晶圆表面的物理缺陷和非可视化特性。晶圆检测站扫描每个晶圆的表面并捕获高分辨率3D图像。这样就可以准确评估任何表面缺陷,如遮罩缺陷、错误对齐和其他缺陷。对准模型有一个自动电机驱动级，将晶片对准样品视图端口进行精确检查。该子系统具有高分辨率图像比较、高级着色校正和非视觉缺陷检测算法等多种功能。利用先进的图像分析算法，设备能够检测、报告和分类表面缺陷。它可用于缺陷的自动分类和严重程度评估,以及缺陷的大小、形状和性质的手动评估。此外,系统还提供高级报告功能,能够在安全数据库中存储和分析结果。该单元还具有一系列自动化功能，如自动舞台移动、控制光线强度、自动搜索模式以及将图像和测试结果导出到外部位置。这样可以在检查掩模和晶片基板时提高吞吐量和可靠性。总而言之，AMAT Complus 3是一款功能强大、全面的用于半导体生产的面膜晶圆检测机。它具有高分辨率的成像功能、自动化工具和高级数据分析功能,使其成为监测IC掩模和晶片质量的有效工具,然后才能制造成芯片。