二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300 #9280347 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9280347
晶圆大小: 12"
Defect review system, 12"
Wafer shape: Notch
Electron optical system:
Accelerating voltage: 150 V - 15,000 V
Probe current: 10 pA - 1.2 pA
SEM Resolution: 4 nm at 1 kV
Magnification: 200x - 200,000x
Maximum pixel: 1440
Multi perspective SEM imaging
VC model
Optical microscope system:
Bright light microscope
Dark field microscope
Optical microscope: 5x / 20x / 100x
SECS / GEM Communication interface:
Defect file format
Output file format
Host communication (SECS II / GEM /HSMS)
Wafer stage:
Stage accuracy: ±1.5 um
Unique die to die
Automatic defect review
Automatic defect classification
Automatic process inspection
No E-Chuck stage
Anti charge
Peripheral:
Port type 1 and 2: OCLP
With EDX
Tilt and rotation
Remote work station
Resolution target: Regular
Signal tower: Standard
EPDU
No FIB.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300是一种精密的掩模和晶圆检测设备。该设备采用尖端光学和图像处理技术,提供高分辨率、亚微米成像和检测功能。该DR-300具有独特的扫描平台,为32 nm及以下节点提供一致的高信噪比。它有一个角度照明系统，使离轴成像和多束，使灵敏度和吞吐量增加。此外,DR-300还提供了无与伦比的高速临界尺寸成像,可以比以往任何时候都更快、更精确地分析结构。CX DR-300支持一系列不同的映像功能。它具有直接光束成像（DBI）,这是一种独特的技术,旨在减少反射和像差的影响,并为具有挑战性的样品（如散射角较窄或高度较大的样本）提供更清晰的成像。此外,它还具有离轴照明角度和多光束成像功能。多光束成像本质上是暗场成像和透焦成像的先进组合，因为它不依赖因反射而产生的对比度，从而允许以极高的精确度成像超细金属结构。最后,CX DR-300提供全面的缺陷检查功能,包括2D和3D图像重建、自动缺陷分类和增强的自动分类功能,以及通过成像进行自动尺寸测量。它具有内置的智能缺陷审阅功能,可轻松审阅审阅图像,并为进一步查询或进一步审阅提供建议。所有这些功能结合在一起,使AMAT SemVision CX DR-300一个出色的掩模和晶圆检测系统,适用于任何必须具有可靠和精确成像的行业。它提供了顶级性能和保证的测量准确性,从而实现了最高级别的质量保证。这种设备是任何希望确保高效和可靠的检验过程的制造商所必需的。
还没有评论