二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus #9205642 待售
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已售出
ID: 9205642
晶圆大小: 8"
Defect review system, 8"
Tool performences:
ETU
ITU
TILT
OM
PAL
Stage
Rotation
SEM:
Vacuum
Minimodule values
EDX:
Temperature
Calibrated.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus是一款为半导体工业设计的掩模和晶圆检测设备。高级系统具有椭圆仪、表面检查模块(SIM)和强大的集成软件包。先进的单元提供高清分辨率、晶圆轮廓和验证、众多的测量能力以及低拥有成本。椭圆偏振仪的设计是为了以极高的精度监测晶圆的材料层。它同时使用单谱和多谱极化来分析晶圆。该机器能够以1nm的分辨率检查高达30nm的层。这款椭圆仪还支持光刻材料和介电材料的低温测量模式。表面检查模块(SIM)允许对表面地形、污染、应力等进行详细分析。包括9.1百万像素CCD摄像头,可实现高分辨率成像,捕获晶片中最小的缺陷。此外,SIM能够使用3D成像技术快速获取可用于监控设备性能的表面轮廓。CX Plus集成了功能强大的软件包。该软件可方便地访问硬件的所有功能,包括一次管理多个晶片的能力,以及一个功能强大的优化工具,帮助最大限度地提高检查工具的准确性。AMAT SemVision CX Plus是设计用于半导体行业的先进掩模和晶圆检测资产。该型号采用椭圆仪和表面检查模块,配有910万像素CCD摄像头。该设备能够检测分辨率为1nm的高达30nm的层,并且能够检测晶片中最小的缺陷。CX Plus还具有集成软件包,可轻松访问所有硬件功能,并包括功能强大的优化工具以最大限度地提高准确性。
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