二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX #293767109 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX是一种掩模和晶片检测设备,可帮助制造商快速评估所创建的掩模和晶片的质量。该系统基于独特的高分辨率、全画幅高速成像单元。CX包括11英寸的检查视野、先进的图像处理和分析算法、对高级图像缝合的支持以及处理灵活、复杂的检查场景的能力。该机能检测到各种小至一纳米、大至16纳米的缺陷。CX使用两个独立的照明系统来捕获图像,一个针对检查进行了优化,另一个针对控制成像进行了优化,以捕获颜色、纹理和地形数据。检测光为模具边缘提供了平衡照明的高对比度。照明工具使用Advanced Digital Light Structuring引擎，最多有16个发光二极管通道和一个多通道滤波引擎，创建一个多通道滤波面罩。该滤镜与成像光学器件和磁场透镜相结合，以最高5倍或7X的分辨率实现精确的滤镜和晶片检查。该资产采用多种图像处理和分析算法进行机器人质量控制和评估。算法可以对面膜和晶片上的不同特征进行注册、检查和分类，如表层厚度、孔径、特征形状和线宽。自动错误检测和分类有助于确定可疑缺陷的根本原因。这包括缺陷识别算法、缺陷分类算法、缺陷分类精度度量、产量预测算法和兼容性分析算法。CX易于与其他检查系统集成，可用于一系列复杂的检查。自动掩模和晶片检验模型提供了快速、准确的结果，帮助制造商减少循环时间，提高生产能力和提高产量。AMAT SemVision CX具有先进的高分辨率成像功能,是半导体行业中用于掩模和晶圆制造商的理想设备。
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