二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX #9185367 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX是为最苛刻的半导体环境设计的掩模和晶圆检测设备。它拥有市场上最高的吞吐量,拥有着名的自动掩模和晶圆处理、校准和对准系统。该系统具有可扩展性和可升级性，能够满足晶圆和掩模检查的最先进要求。CX的设计采用了AdaptiView软件平台,以确保精确识别和测量掩模图样和相关结构,如光刻线缘粗糙度（LER）和临界尺寸（CD）测量。此外,软件平台还提供了晶圆和标线测量的最高精度,以及监控模具表面由于多层模式而产生的增长和变化的能力。该单元的成像技术采用多种镜头选项，从远心和非球面到浸入式和3D，以及自己专有的"光箱"照明，具有高分辨率和多色图像。它支持广泛的晶圆基板，包括SOI、硅、玻璃等。在检查能力方面，CX具有屈服管理软件（YMS）等一系列功能，允许用户直观地分析缺陷，实现更快的屈服改进。用户还可以定义流程公差和自定义规则以减少错误调用并以统一和高效的方式对其进行分类。此外,CX还提供了一种直观的掩码检查报告生成机器,具有统计分析功能,能够更快地进行故障隔离和分析。此外,该工具还提供了一整套手动（MPD）和自动（CSPD）粒子检测和评估功能。它采用最新的光束扫描技术进行晶圆和标线检查，以及最准确和最新的故障检测和校正算法。最后,AMAT SemVision CX Asset是一个先进的模型,旨在满足半导体应用中最苛刻的要求。它提供自动掩码和晶圆处理、校准和对准系统,以及卓越的成像技术和最新的光束扫描技术。此外,它还提供了高级软件平台,用于高效的缺陷检测、分析和故障隔离。