二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB #9375215 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB
ID: 9375215
Defect review system Process: Metrology.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB是一种面罩和晶圆检测设备,设计用于提供自动化、快速和无损缺陷检测和分析。系统使用聚焦离子束(FIB)来访问埋在表面之下的特征。该单元基于电子束相互作用技术,已经适应晶圆和掩模。FIB指向怀疑有缺陷的样品区域,然后由机器检测并鉴定其特征。梁还用于截面局部曲面,以便研究缺陷的内部几何形状。SEM可以检测到各种各样的缺陷类型,包括表面和地下缺陷如划痕、断裂、点缺陷、局部成分变化和微米级颗粒。AMAT SemVision G3 FIB的设计采用了用户友好界面,便于工具控制。资产包括各种阶段,如样品安装阶段、工作室阶段、辐照阶段。它还具有先进的成像模型,具有大的样品室.图像采集和图像分析模块可以有效地定位和分析缺陷。此外,设备还支持各种辐射源,如标准的法拉第杯、CCD成像系统,以及离子能量光谱仪和离子反向散射光谱仪的组合。它还具有先进的图像重建单元来分析各种地形、表面和界面特征。机器的高速扫描能力,加上对波束电流的精确控制,使缺陷检测和分析得以快速准确。该工具的成像能力可以从各种角度和视图捕获高分辨率图像。这使得它非常适合用于过程控制和故障分析。应用材料SemVision G3 FIB是一种功能强大的检查资产,能够以最小的努力提供快速、准确的结果。复杂的成像模型可以准确可靠地检测和表征地下和表面缺陷。用户友好的界面和硬件功能使其易于使用,其高速扫描功能可实现高效的缺陷检测和分析。
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