二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #293821128 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite是一种用于检测半导体芯片和集成电路缺陷的掩模和晶圆检测设备。它由高分辨率成像阶段,结合精确照明和先进的光学成像技术组成。该系统可用于检查200毫米至300毫米大小的晶圆,分辨率高达0.1微米。该单元采用CCD成像技术,通过捕获每个单独的半导体结构及其在晶片上的位置来工作。然后,机器使用算法将特征的形状与无缺陷模板进行比较,并将其与先前接受的内核或可接受的半导体规则进行性能比较。摄像机直接安装在晶圆上方的精确导航台上。成像晶片用一组LED照明,精确控制照明强度、方向和偏振。这种光线增加了每个单独结构的图桉,有助于定义细节,因为细节太小,肉眼看不到。该灯还可以揭示缺陷、集成电路和其他特性,以及在识别可能存在的缺陷时增强对比度。成像工具允许同时进行高速成像和增强,并集成高低对比度信息,以便检测潜在缺陷的光学特征。资产由多用户、多任务图形用户界面控制。这允许多个用户访问模型并运行并发作业。可以将保存和分析的作业保存为文件格式,其他AMAT软件应用程序可以使用该格式。该设备还拥有可定制的工具和流程,以及广泛的光学滤镜、算法和配方库。该系统能够自动检测模式拓扑和缺陷,以及多模式掩码分析、过程不稳定性分析和非可视化复合流分析。总体而言,AMAT SemVision G3 Lite是识别和检查集成电路和半导体芯片缺陷的强大工具。它结合了精密成像、先进的光学技术和复杂的算法,为确保这些复杂组件的质量提供了可靠的方法。
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