二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #9280960 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9280960
Defect review system, 12"
Specifications:
± 0.05 mm (SEMI M28)
775 ± 25 um
Notched wafers
Carrier: (2) FOUPs 25wf, 12"
Interface: (2) FOUP (Continuous flow operation)
Supporting remote units
EBARA ES80 Dry and vacuum pumps
EPDU
UPS: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
Vacuum block assembly
Fixed system configuration:
Wafer ID reader: Backside bar code wafer scribe reader
P I/O For OHT (Hokuyo): VERITYSEM AUTO5
Operator access switch: VERITYSEM AUTO8
Wafer mapping capable: Through beam mapper VERITYSEM-AUTO6
Optical FOV: Large optical FOV 100x um 20x and 2.5x
Communications protocol: SECS-II GEM+
HSMS 300 mm as VERITYSEM AUTO10, E84,E87,E90,E94 (TAR1.5)
Tilt capability: Tilt function NA
Contact hole profile grade: SECS capable output VERITYSEM-SYS2
Wafer stage: Anorad stage
Data back up: Monthly PM backup
EMO: One per side of main body and one on operator console
Interlocks: ETU Access panel
Signal tower:
Red / Yellow / Green / Blue:
Upper left of front and upper right section of loader on maintenance side
Installation requirements: CDA Bulk gas
(l/min) per SEMVision SSPS:
CDA Peak flow: 120
Ave flow: 16
LPOCs Req: 4
Electric supply: 120 V, Single phase, Peak flow: 1, 120 V
Water: (l/min) per SEMVision SSPS
PCW Peak flow: 75
Exclusive to G3
Stage: Z25 Oil, stage acceleration 1/4g, clean cables
Scan electronics: MEC
Computer: IP and WHC and MEC and EDX Computer
Power supply: HVPS, CDM
SEM Column: Column version NA
OM: DF/BD
Dry pumps not included
CE Marked
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite是一种掩模和晶圆检查设备，设计用于对基板和电路模式进行精确测量。该系统建立在一个开放的模块化平台上，可以方便地与现有的测试和计量系统集成。它配备了高分辨率成像工具，以足够高的分辨率获取包括临界层在内的图样结构的精确图像，从而能够进行精确测量。该单元采用高速图像采集技术，可以在短时间内对大表面积进行分析。它还结合了复杂的图像处理算法，以增强图像，检测缺陷，并能够更精确地测量尺寸和形状。这台机器配有一套功能强大的软件工具来分析获得的图像。这些工具允许将测量值与参考数据进行比较,并用于验证用于识别设计缺陷或缺陷的特定标准。该工具还配备了一系列测量功能，能够对各种参数进行精确和高分辨率的测量，包括线宽、最小宽度、悬垂、线性、边缘粗糙度、接触宽度、蚀刻深度、直径和锥角。此外,还结合了透射和反射成像功能,以便于准确比较基板多层之间的绝对尺寸和尺寸。该资产还符合行业标准，如SEMI M13标准，使其与现有的计量工具兼容。此外,它还具有用户友好的界面,允许用户快速高效地设置和使用模型。设备的所有特性和功能都可以通过基于Web的用户界面进行控制。AMAT SemVision G3 Lite是用于掩模和晶片检查的理想解决方桉,为用户提供高效而全面的基板和图案测试覆盖。该系统采用最新的光学和成像技术进行设计,并利用强大的图像处理功能来确保卓越的图像质量和准确性。其用户友好的界面和可定制的测量例程使其成为各种应用程序的理想选择,允许用户在保持吞吐量和产品质量的同时节省时间。
还没有评论