二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 #9372771 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3
ID: 9372771
晶圆大小: 12"
Defect review system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3是一种面罩和晶圆检查设备,设计用于快速传送缺陷检测和校正。该系统结合了硬件、软件和处理能力,以捕获、分析和纠正精密设备掩码图像中的错误。AMAT SemVision G3的硬件包括几个组件。基础是一个最先进的成像单元,它驱动高分辨率、智能的CCD摄像机捕获图像,从而实现小至1微米特征的可视化和分析。这与一个重复的三级金字塔传感机配有一个内置的线性编码器,用于精确的自动聚焦。对象识别工具(ORS)使用一系列高级算法,以增强对比度和清晰度来增强捕获的图像。然后由图像分析资产(IAS)处理和分析图像。接下来,G3使用几个软件模块进行数据处理和错误识别。这包括分割和分类(SCU)、边缘检测(EDT)和分区算法。这些功能有助于识别和检测缺陷,这些缺陷的特征是各种测量,包括尺寸、形状、位置和方向。最后,使用校正模型(CORR)将汇总结果与存储的标准进行比较,以确保数据在其指定的公差范围内。最后,APPLIED MATERIALS SemVision G3的模块化体系结构支持各种强大的处理功能,以确保在各种生产过程中获得准确一致的结果。其中有一个匹配的光刻模块,产生IC晶片的高分辨率图像,同时最小化掩蔽步骤产生的噪声。它还提供不同组件之间的高速数据交换,以加速掩蔽和检查过程。总体而言,SemVision G3是一个非常强大的用于掩模和晶圆检查的工具。它结合了高级图像捕获、复杂的图像处理和分析算法以及强大的数据管理功能,以最大程度地减少设备掩蔽过程中的错误。它肯定是实现一致和准确结果的宝贵资产。
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