二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP #9399576 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP Mask&Wafer Inspection Equipment是一种高性能、高通量的系统,用于快速准确地检查和表征各种材料和工艺层的光刻图样。该单元为无室和全场检查提供了一整套功能,包括先进的模式识别能力和可编程图像分析工具。它能够检测各种光刻问题,如缺陷、尺寸变化和图样不均匀性,从而导致半导体生产无与伦比的产率。G5 HP基于模块化体系结构,其中包括几个基本组件。机器的核心是功能强大的多用途CCD相机。这款相机能够捕捉分辨率高达1微米的图像,并能够捕捉光源调制,用于产生有效范围的调制传递功能。CCD摄像机安装在温度控制的摄像机工具中,并与PC同步,从而可以实时控制资产。除了相机之外,G5 HP还采用了先进的型号级光学设备,具有极大的8:1光学变焦、大视野和先进的成像光学,能够分辨出具有高对比度的小特性。交互式触摸屏用户界面实现了高级功能和工具的易用性,具有上下文帮助和对多种语言的支持。该软件也非常先进,为晶圆和掩模模式识别、缺陷和尺寸分析以及平版印刷模式的计量和表征提供了一整套工具。该软件还可以通过一个标准脚本库以及自定义工具轻松定制,以适应客户的需求。G5 HP设计为在生产环境中稳定可靠,具有可靠的设计和行之有效的系统工程。强调不断改进设备,配备直观的客户支持机器,以实现快速开发和部署。AMAT着名的SemVision Inspect和DataMatch软件套件也支持该工具,从而实现了完整的控制和数据解释。此资产非常适合大容量、高吞吐量的生产应用程序,提供准确的结果,采样率高,每个样本占用空间成本低。
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