二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #9132901 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5是一种集成的掩模和晶圆检测设备，设计用于检测和识别先进技术光掩模和半导体晶圆的缺陷。AMAT SemVision G5系统利用包括Deep Flare™在内的一系列先进3D成像技术来实现无与伦比的缺陷检测灵敏度。集成的全自动视频检查和计量引擎能够对晶片和掩码进行快速、高度自动化的缺陷审查。APPLIED MATERIALS SemVision G5单元配备高速频闪和CCD摄像机。闪光灯可提供高对比度的光掩模功能成像,而CCD相机可检测和捕捉掩模和晶片表面的光敏缺陷。可调孔径只照亮感兴趣的晶片表面积，而大视场则允许探测表面污染，包括颗粒。Deep Flare技术使用在不同级别和深度捕获的多个图像帧来分析芯片中的缺陷并确定其大小和严重程度。Deep Flare允许检查128 nm节点阵列介质等高密度特征,从而提高了对小规模缺陷的灵敏度。SemVision G5工具的计量模块是一个能够对光掩码和晶圆进行全芯片分析的集成框架。该资产高度自动化,包括专门的分析软件,能够更快、更准确地审查缺陷。视频检查引擎进一步提高了缺陷测量的准确性，并提供了方便的记录检查记录。AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5是一款功能强大的集成掩码和晶圆检测解决方桉,它将一流的缺陷检测技术与自动化计量相结合。适用于光掩模和晶片表面的检测，可提供优异的缺陷灵敏度、可靠性和准确性。