二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #9194738 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5
已售出
ID: 9194738
Defect review system.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5是一款先进的掩模和晶圆检测设备,旨在优化缺陷检测和制造商工艺优化。其先进、自动化的图像捕获和分析技术使它能够检测半导体晶片和掩模上的微观缺陷和特征,否则这些缺陷和特征可能不会被发现。G5采用全自动系统设计,可精确成像和检查晶圆和掩模表面。其先进的成像单元能够捕获和分析分辨率低至0.04微米的图像。该机器能够同时检测设计规则和过程缺陷/特征,因此非常适合各种应用,从过程控制到故障隔离。该工具配有一套全面的硬件和软件组件,可实现自动图像捕获和分析。其先进的光学检测隧道(ODT)允许对晶圆和掩模表面进行快速、准确的图像捕获和分析。ODT还具有图像捕获光学列,可根据应用程序将其配置为以自上而下或侧视方向捕获图像。资产的高速、高精度成像传感器确保精确的图像分析。G5还具有许多软件组件。它包括一个可以快速可靠地比较图像的评分比较引擎,以及一个可以对捕获图像中的模煳进行校正的散焦校正模块(DCM)。模型还包括一个综合模式匹配(CPM)工具,它允许以自动化方式比较图像。G5还具有高级用户界面。该设备直观的图形用户界面允许方便的导航和简单的数据输入,以及清晰的报告。界面是高度可配置的,允许自定义图像捕获、分析和评估过程。AMAT SemVision G5系统是为性能、效率和可靠性而设计的。其先进的图像捕获和分析单元能够快速检测和校正微观缺陷和特征。其直观的GUI为操作员提供了易用性,其集成的软件工具提供了高效的工作流程以及对缺陷和功能的完整分析。这台功能强大的机器是优化过程控制和执行精确掩模和晶圆检查的理想解决方桉。
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