二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision #293767211 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision是一种掩模和晶片检查设备,设计用于高速、高分辨率晶片和光掩模检查。该系统能够执行多达1080 i的调查和分析结果,配备了广泛的图像采集和图像处理工具,从而能够检测和优化产品缺陷、掩蔽设计问题以及否则将会遗漏的过程控制问题。该单元由一个强大的数字信号处理器(DSP)组成,控制成像、显示和数据存储。DSP连接到成像和运动控制元件,包括用于晶圆检查的RGB、单色和紫外线光源。包括目标、变焦镜头和可调节的线性运动级在内的一系列光学器件用于提供从微距到微距的一系列图像分辨率和场深。此外,机器还包括一个数字显微镜和一个大的滤轮.成像工具还包括三个摄像机:一个RGB摄像机、单色摄像机和一个紫外线摄像机,它们都连接到图像捕捉和控制组件。此组件支持高级功能,如实时图像显示、视频录制、自动缝合和缝合、模式识别和大格式扫描。为了分析AMAT SemVision检查资产获取的数据,该模型使用集成软件包,其中包括一系列高级检查工具。该软件能够检测和测量产品层上的缺陷,以及表征蒙版模式和图像模式的变化。该软件能够识别各种缺陷类型,包括开路、短裤、桥接、鸟巢、线缘粗糙化和蚀刻缺陷。此外,该软件还包括用于掩码设计和晶圆阵列检查的CAD工具,以及各种过程控制分析工具。应用材料SemVision检测设备是一种高度自动化的系统,能够对多层和产品进行高速同步检测。该单元能够进行在线和离线检查,并且包括一些专门的软件模块,用于晶圆计量、缺陷分析和紫外线光谱范围内的缺陷分析。该机可用于广泛的应用,包括晶圆工程、掩模设计验证、光刻、工艺开发、晶圆清洗、缺陷还原等工艺控制活动。
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