二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision #9308059 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision Mask&Wafer Inspection Equipment是一种全自动的半导体计量工具,旨在可靠地检测Mask和Wafer中的缺陷。该系统利用尼康和施耐德光学技术两家制造商，允许用户在适中和高放大倍率之间进行选择。它还提供了光学反射率、边缘粗糙度、径向几何畸变等多种测量类型，非常适合研究和生产应用。该单元有两个主要模块，一个机器控制器模块和一个图像捕获模块，每个模块都有自己的一组功能。工具控制器模块是资产的大脑，负责管理所有模型操作，从获取图像到分析数据。它由单元控制软件、成像控制台和半导体控制终端组成。此外,它还具有控制操作设置的控制面板和通过USB连接到设备的PC。图像捕捉模块包括三个主要组成部分：显微镜、显微镜适配器和照相机。显微镜用于提供放大和详细成像，而适配器直接连接到相机，有助于确保图像被系统精确捕获和分析。显微镜既包括视场选择，也包括光学参数选择，包括分辨率、视场大小和景深。显微镜还提供多种成像模式，以适应各种应用，如亮场、暗场、极化等等。相机是一个高分辨率的数字成像单元，以高达4K的分辨率捕捉图像。机器的图像处理软件使用户能够测量晶圆和掩模的各种特性。软件可以检测晶片和掩模上的缺陷，并测量其径向距离和区域，以评估其准确性水平。此外,它还可用于测量光学特性,如划痕、特定特征上的划痕、特征平滑或偏差以及其他细节。该软件还提供图像处理和分析算法，用于自动缺陷检测、特征提取以及各种其他用途。AMAT SemVision Mask&Wafer Inspection Tool是确保半导体制造工艺尽可能高质量的高效工具。它能够准确检测晶片和掩模的缺陷，测量晶片和掩模的各种特性，是研究和生产应用的理想选择。