二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 3 #293609484 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 3 Mask and Wafer Inspection Equipment是一种自动光学检查系统,设计用于线后端（BEOL）半导体制造过程。该单元检查每个Reticle和Wafer,以检测掩模阵列、计量和对齐中的错误。它可用于评估BEOL工艺几个不同阶段的Reticles和Wafers，包括光掩模制造、抗蚀层暴露和蚀刻工艺。该机器由几个部件组成，它们协同工作，对Reticle和Wafer上的所有特征同时进行高质量、高分辨率的检查。其中一个主要部件是光束投影仪工具，它容纳光束扫描仪和透镜组件，以及一个标线基板支架。此资产旨在将可见光束聚焦到Reticle或Wafer上,并逐行精确扫描整个表面。然后将光束由Reticle或Wafer反射回光束投影仪模型并进行分析。下一个组件是模式识别单元,用于分析光束投影仪设备的数据,并检测Reticle和Wafer上的错误和缺陷。该单元使用高级算法检测肉眼可能看不见的缺陷。软件还能够测量特征大小、位置和间距,以确保Reticle和Wafer满足指定的要求。AMAT UVision 3掩模和晶圆检测系统的最后一个组件是显示和控制单元。此单元由触摸屏显示器组成,用于控制设备和访问产品数据。它还包括一个内置摄像头来查看标线和晶片，以及一台打印机，以便可以直接从设备打印报告。总体而言,APPLIED MATERIALS UVision 3掩模和晶片检测机是一种坚固可靠的工具,其设计目的是在BEOL过程中有效地检查网纹和晶片。它能够检测肉眼无法检测到的缺陷,并能够测量特征大小、位置和间距,从而在检查Reticles和Wafers时保持一致的精度和精确度。