二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #293665699 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4是为半导体制造应用而设计的高精度、五轴掩模和晶圆检测设备。它能够测量图样的几何、尺寸和形状特性以及晶圆和掩模的表面误差。该系统结合了一系列三维光学传感器，既可检测视图上的缺陷，也可检测深度缺陷。AMAT UVision 4配备了先进的图像处理算法，用于比较和分析图样化特征的几何形状，有助于及早发现和预防错误。该装置采用8英寸乘8英寸双级，可容纳200毫米和150毫米晶圆。APPLICED MATERIALS UVision 4配备了两款二级亮场灯具，便于识别小缺陷和特点。此外，它的主动分期技术允许精确扫描全表面和部分表面。这样可以确保早期发现潜在的缺陷,从而提高晶圆和掩模的产量。为确保准确性和可靠的结果，机器配备了内置的自动特征提取软件。此软件会自动提取和检查桥梁、沟槽和基准标记等特征,以确定其尺寸和位置。自动化软件还能够分析边、线端形状和开口/闭合。它还配备了有助于提高分辨率和对比度的抗锯齿和抖动算法。UVision 4设计用于扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）和激光成像等多种数字成像技术。它还利用了不同的照明和曝光技术，如光斑照明、泛光照明和脉冲照明。该工具还能够使用高级特征识别和模式匹配算法检测复杂特征。这种多功能资产有助于大大减少半导体制造过程中检查晶片和掩模所需的时间和精力。它提供了更高的吞吐量和稳定的性能，同时为检测和测量纳米级缺陷提供了更高的精度和准确性。AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4还可以通过全面识别缺陷和验证设计规则来帮助提高产量。