二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #9390689 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4设备是先进的临界区域掩模和晶圆检测(CAMI)平台。该系统旨在提供高精度、亚微米分辨率的成像以及不透明和透明晶片和掩模的分析。AMAT UVision 4单元配备了最先进的双光束成像和分析工艺,提供纳米级分辨率。这台机器能够检测和纠正蒙版和晶片中可能未被检测到的错误。APPLICED MATERIALS UVision 4工具由四个主要组成部分组成:(1)高功率双束显微镜资产;(二)高效冷却模式;(三)高精度图像分析设备;(4)高分辨率图像显示系统。双束成像单元利用光束和电子束提供亚微米分辨率成像和晶圆和掩模分析。双束显微镜机可直接测量晶圆表面和掩模基板上的临界尺寸(CD)、接触孔尺寸和空间间隔。UVision 4冷却工具基于一项获得专利的技术,可实现快速样品冷却,同时保持亚微米分辨率。冷却室允许样品保持在低至-100 °C的温度下。这有助于减少样品和成像资产之间可能发生的物理交互的复杂景观,提供惊人清晰的图像。高精度图像分析模型包括一套复杂的软件包,支持缺陷检测、隔离和识别。该设备用于检测和报告任何缺陷,如划痕、空隙或非共面,以及缺陷的方向。自动化分析结果可以多种格式输出,以便进一步审查。最后,设计了AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4图像显示系统,以增强图像的实时观看和查看。它提供高分辨率、高质量的图像,用于准确的缺陷验证和问题解决。总体而言,AMAT UVision 4设备具有许多功能,使其成为电子制造业的宝贵资产。其纳米级分辨率和检测能力,以及坚固耐用的冷却机,允许对不透明透明的晶片和掩模进行精确的检查和分析。这种工具肯定会在未来几年成为业界日益重要的工具。
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