二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9298508 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 Mask&Wafer Inspection Equipment是一种生产级计量系统，为半导体制造过程中使用的半导体晶片和光掩模提供高级光学检查和缺陷审查。AMAT UVision 5利用360度光束扫描技术精确测量复杂电路和光掩模的尺寸特性和表面变化。这个单元既可以进行晶片级检查，也可以进行模具级检查。在晶片级检测中,该机采用1 µm光束点尺寸和50 μ m聚焦光学工具,最大真空晶片尺寸为195 mm,放大倍数可达10,000倍。此外,该资产还通过获得专利的连续聚焦调整来提供对电路和模式的高精度测量,以保持最高的吞吐量。应用材料UVision 5提供高分辨率表面缺陷分析或缺陷审查。这包括3 D计量、表面拓扑分析以及缺陷特征和缺陷形态特征的成像。该模型配有先进的图像处理算法，旨在提高缺陷审查的准确性和可重复性。这包括用于高级缺陷分析的自动缺陷审查（ADR）,以及用于生成精确分析结果的自动检测性能指标。UVision 5设备自动化了整个检测过程，从光学检测到缺陷分析。这包括自动晶圆对准、准确的失真跟踪和审查以及自动缺陷分类。系统还包括2D蒙版对准和CD/RCD扫描和缝合。最后,该单元提供常规测量、性能测试、特征大小和OSAT测量、CD/RCD测量以及线缘粗糙度（LER）测量,以跟踪制造产量。AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5利用集成的自动化和高水平的数据精度和精确度,为生产环境提供了可靠、可重复的掩模和晶圆检测。这台机器增加了吞吐量,满足了较低的检查限制,并提供了更高级别的过程控制。