二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9375213 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5是面膜和晶圆检测领域的主力军。它在高度自动化的设备中提供可靠和通用的掩码和晶圆检查，学习曲线很短。该工具采用355 nm紫外线和6个圆形CCD摄像机，使晶片的放大倍数达到3000X。这个工具提供了对大晶圆映射的精确回顾，提高了模式识别的速度，减少了错误的拒绝。除了帮助识别设计规则违规外,系统还应用自动分类算法以确保高效、可靠的模式识别。此工具还包括灵活的预先配置的子字段区域,这些区域可在较大的区域上进行详细的较小特征查看,从而有助于针对特定的与产量相关的热点。AMAT UVision 5是一种用途非常广泛的工具,能够检查各种不同的基板几何形状。它能够方便地检查非"方形"芯片中的不同模式以及门侧墙结构等结构。除了检测模式缺陷外，还能寻找随机噪声、模煳边、线宽变化等缺陷异常。该设备还具有自动和手动缺陷分类功能，使用户和缺陷检测机更好地了解与设备相关的错误。该工具还具有自动对焦校准和漂移调整功能,可实现阵列对齐,并实现10-sigma可重复性,分辨率低于nm。自动化功能还消除了用户定义的设置,并大大减少了手动调整,从而实现了更一致和可重复的测量。该资产的界面也易于使用,具有用户友好的GUI,支持轻松的模式审查、注释和选择。它还从桌面提供完整的操作和质量控制功能。总之，APPLIED MATERIALS UVision 5模型是当今半导体制造工厂为掩模和晶圆检测设计的可靠、通用的工具。它提供精确的模式审查和缺陷检测功能,以及用于可靠测量的自动化设置。此外,用户友好的GUI还提供了简单的模式查看、注释和选择。