二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9390690 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5是一种革命性的掩模和晶圆检测设备,其设计目的是在半导体故障隔离、过程优化和屈服管理过程中提供卓越的性能、准确性和可靠性。该系统由可自动配置的集成移动光学显微镜（MOM）单元组成，为过程监测、故障隔离和屈服增强提供了性能优势。该机对5 nm缺陷尺寸敏感,可实时测量打印缺陷和线宽,确保了生产超细元件几何形状、公差线宽和缺陷检测的卓越工艺控制。AMAT UVision 5的光学显微镜设计由一个获得专利的移动光学显微镜（MOM）到XYZ级组成,可根据应用自动进行集成二维（2D）检查和自动调焦。该仪器还采用了获得专利的自动对准技术，提供了最大的清晰度以及晶圆注册的准确性。这样可确保避免正面和背面检查功能不对齐。在操作过程中，平台将晶片放置在MOM窗口的顶部，并且MOM在高速时通过晶片并绕过晶片。成像工具与MOM配合使用,可生成高度详细、增强的图像,然后对其进行研究或与已知的好或坏设计库进行比较。APPLIED MATERIALS UVision 5提供了快速的吞吐量,并且可以在独立的环境中运行,从而使用户能够减少同地故障排除时间并优化产量管理协议。最大5微米的广域测量能力和亚微米测量提供了卓越的工艺优化能力。最后,高度熟练的缺陷识别和审核将手动工作保持在最低限度,并进一步简化分析过程。UVision 5资产为半导体故障隔离、过程优化和产量管理过程提供了卓越的通用性、准确性和可靠性。晶圆配准图像的最大清晰度和准确性确保了设计特征和图样的高效处理,从而获得令人满意的最终结果。因此，AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5是满足高端半导体行业最苛刻挑战的理想掩模和晶圆检测模型。