二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7 #9271006 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7
ID: 9271006
Brightfield inspection system, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 7是一种用于识别晶圆和光掩模上缺陷的掩模和晶圆检测设备。它可以引导模式缺陷,监控过程,增加协作,确保缺陷分类的准确性并提高吞吐量,从而降低复杂性并提高产量。AMAT UVision 7利用带电粒子束光学系统从基板获取成像和探测数据。该技术利用光电子透镜、光电子加速器和光电子探测器。这些元件参考电子,产生高分辨率的图像,而不会使掩模或晶圆的表面变形。然后以高放大倍率检查该图像以查明潜在缺陷。应用材料UVision 7包含用于晶圆缺陷识别的直接阴极照明单元。本机利用荧光屏增强了表面特征的观赏效果。屏幕上的亮点表示表面水平或结构存在缺陷。UVision 7还具有同时分析整个晶圆表面的全场成像工具。这样就可以全面查看可能存在的任何缺陷或结构缺陷,并可以快速识别任何需要额外注意的领域。为了增强用户与客户或供应商之间的协作,AMAT/APPLICED MATERIALS UVision 7包含了远程审核功能和决策支持工具。远程审查功能允许世界各地的设施进行缺陷审查和协作。决策支持工具有助于自动缺陷分类,以减少复杂性和操作员工作量。此外,AMAT UVision 7还包括正在申请专利的Active Pattern Learning功能。此功能可持续监控曲面随时间变化的模式,并可以快速识别新的或变化的模式,以帮助防止潜在缺陷。总体而言,APPLIED MATERIALS UVision 7是一种高级掩码和晶片检查资产,它提供成像和探测功能、用于晶片缺陷识别的直接阴极照明、用于分析整个曲面的全场成像、用于增加协作的远程审查功能以及用于降低复杂性的决策支持工具。申请专利的Active Pattern Learning功能有助于识别新模式或更改模式,以防止潜在缺陷。该模型结合其各种特点,提高产量并降低复杂性,以确保高质量生产光掩模和晶片。
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