二手 AMETEK / TAYLOR HOBSON i-Series PRO #293808007 待售
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ID: 293808007
优质的: 2020
Surface and contour measurement system
P/N: M112-105482
Inductive gauge system: 5 mm
Traverse unit, 120 mm
Motorized column, 450 mm (±9° Tilt)
Calibration ball
Stylus tips: 2μm, 60° / 90°
112-102577-01 CNC Y-Axis
Locating stage
112-1859 Self centering chuck
112-4902 Manual 3-Axis stage
Calibration:
Straightness: 0.114 µm
Gauge calibration – Pt: 0.079679 µm
Gauge 3-Line calibration: 0.826 µm
Gauge system noise: Rz 4 nm
Additional stylus:
(2) 112-4577-02
(2) 112-4593-02
(2) 112-4575-02
PC
Workstation
Dual monitor
UPS
Keyboard tray
2020 vintage.
AMETEK/TAYLOR HOBSON i-Series PRO是一款先进的掩模和晶圆检测设备,设计用于半导体制造工艺和其他相关行业的高精度表面计量和缺陷检测。这款尖端仪器融合了最先进的技术和创新功能,为质量保证和工艺控制应用提供准确可靠的测量数据。AMETEK i-Series PRO的核心是一个精密的成像系统,利用高解析度相机和先进的光学器件来捕捉面罩和晶片表面的详细影像。这些图像使用高级算法和分析工具进行处理,以提取有关样品表面上存在的地形、粗糙度和缺陷的关键信息。该单元能够以亚纳米分辨率捕获数据,从而能够检测到甚至最小的缺陷和偏离所需表面特性的情况。TAYLOR HOBSON i-Series PRO的关键特性之一是它的用户友好界面,它允许操作员以极少的培训或专业知识轻松设置实验、捕获数据和分析结果。该机提供了一系列预先配置的测量模式,用于常见的表面计量任务,以及灵活定制测量参数和分析算法,以满足不同应用的具体要求。I系列PRO能够测量各种表面参数,包括粗糙度、波浪度、形状误差和颗粒污染。该工具可以同时执行2D和3D曲面计量测量,从而可以从多个角度全面表征样品曲面。这使用户能够深入了解掩模和晶片的表面特性和质量,从而促进过程优化和质量控制。除表面计量学外,AMETEK/TAYLOR HOBSON i-Series PRO还配备了先进的缺陷检测功能,能够识别和分类划痕、凹坑、颗粒和图样偏差等缺陷。该资产采用机器学习算法和模式识别技术,自动检测和量化样品表面的缺陷,为掩模和晶片的质量和完整性提供了宝贵的见解。AMETEK i-Series PRO的设计与广泛的样本量和形状兼容,允许分析不同尺寸的掩模和晶片。该模型配备了电动级和精确定位系统,能够在整个样品表面进行准确和可重复的测量。这确保了一致和可靠的结果,即使在分析具有复杂几何形状或非均匀曲面的样本时也是如此。总体而言,TAYLOR HOBSON i-Series PRO代表了用于掩模和晶圆检验的最先进的解决方桉,为半导体制造和相关行业的表面计量和缺陷检测提供了先进的功能。凭借其高性能的成像设备、用户友好的界面和全面的测量功能,i-Series PRO是增强半导体制造过程中的质量控制、工艺优化和生产率的宝贵工具。
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