二手 ASM IBE 109 #9396459 待售

ASM IBE 109是ASM International设计的掩模和晶圆检测设备。它是一个全自动、多轴、最先进的系统，能够使用不同类型的探测器检查掩模膜和晶片膜。该单元配备了四个顶级探测器：溢流摄像头、前侧照明（FSI）、双侧照明（DSI）和对比度传递功能（CTF）相机。Overflow相机是机器的主要探测器，提供令人难以置信的高分辨率图像。它基于高精度、高速的直线扫描。它能够检测薄膜上其他探测器可能无法检测到的微妙特征。FSI检测器用于检测由透明层和不透明层组成的异质膜。它采用大功率光影成像的组合，能够检测薄膜缺陷。DSI检测器用于均质膜的检测。它配有两个光源，能够检测薄膜底座和层的两侧。它允许工具检测薄膜底座和层中的非周期性和周期性缺陷。最后，使用CTF检测器测量胶片的曝光轮廓。它采用高功率光图像和对比度传递函数（CTF）成像的组合来计算抗蚀层的轮廓。IBE 109还有一个集成软件包，能够控制探测器参数和测量。该软件可用于控制薄膜检查、缺陷评估、批处理以及数据分析和导出到其他系统。该软件还能够就检查参数提供实时反馈，还可以为每个检查过程生成详细报告。ASM IBE 109是一种功能强大的掩模和晶片检测资产，为异构和均质膜的检测提供了极高的精度和精确度。其软件包提供了一系列改善整体检测体验的功能。凭借其快速、高效、可靠的性能，IBE 109是满足所有掩模和晶圆检测需求的可靠选择。