二手 ASM IBE 139 #9069578 待售

ASM IBE 139 Mask&Wafer Inspection Equipment是一种高性能成像系统，旨在执行实时的串联检查应用。ASM IBE139以ASM在缺陷检测和全球计量能力方面的专业知识为基础,在在线生产过程中准确检测和测量关键非标准掩模特征的缺陷。该单元配备了先进的成像映射和故障检测功能，包括6-sigma 3D截面视图和参数分析，使关键生产参数得以监控。该机还配备了集成的视觉检测工具，能够检测微载荷和多层缺陷等非常小的特征。IBE 139有一系列专门的数字成像传感器,可快速捕获不同长宽比和视场的图像,以快速准确地检测反射中最小的错误。资产还能够测量可以使用、找到和分析的各种不同材料和模式的变化。IBE139晶片检验模型设计独特,可在成形的试错阶段进行精细控制,确保已发布的产品符合所需的设计标准。它使用先进的数字显微镜技术来监控每一次掩模处理过程，设备能够检测到偏离所需设计的掩模和晶片。该系统旨在精确检测和测量微小的缺陷，包括但不限于污染、蚀刻损坏、不受控制的气体浓度、光掩模缺陷以及光掩模或光致抗蚀剂层下的污染。该单元使用统计过程控制技术来测量非标准掩码特征。光学器件提供白色/透明光源,用于记录光,激光光源用于消除各种样品部件的阴影。ASM IBE 139晶圆检测机还支持差分聚焦成像（DFI），能够检测表面清洁度和变形。ASM IBE139 Mask&Wafer Inspection Tool旨在为操作员提供一种方便高效的方法来检查各种关键部件。IBE 139具有用户友好的界面、高分辨率成像和卓越的计量能力,是满足高精度在线检测需求的最佳产品之一。