二手 ASM ISISP-189 #9396588 待售

ASM ISISP-189是为半导体制造过程设计的自动掩模和晶圆检测设备。它具有全自动晶片处理程序和自动对齐功能,可快速设置时间。ISISP-189配备了630 nm激光光源、高分辨率单色相机和可手动对齐或自动与随附软件对齐的光学舞台。该系统能够测量和检测口罩和晶片直径不超过150毫米的缺陷。在检查掩码或晶片时,ASM ISISP-189同时使用亮场和暗场成像来捕获存在的所有缺陷的高分辨率图像。该单元针对薄膜结构和图桉化结构进行了优化,可以准确检测硬质和软质缺陷。ISISP-189还能够识别重复的结构,如"类似图像",可用于快速识别不同晶片甚至不同生产运行的同一复制之间的细微差异。该机具有精密度小于10 nm的出色晶圆测量能力，非常适合用于先进的芯片制造工艺。ASM ISISP-189具有改进的缺陷检测和报告过滤功能。这包括从每次检查中提取最大信息量的子像素过滤技术。该工具还具有不同的缺陷分类和报告算法,允许将缺陷位置、强度和形状转换为用于图像分析的有用数据。ISISP-189还配备了强大的软件套件,可用于高级数据分析和图像处理。这包括特定的掩码和晶圆检查工具、高级图像处理、自动缺陷提取、图像重建和过滤以及完整的工程报告。该软件还允许与生产过程中使用的其他自动化系统轻松集成。总体而言,ASM ISISP-189是一种功能强大、可靠的自动掩码和晶圆检测资产.它具有先进的成像和缺陷检测能力，高度精确的晶圆测量和优秀的过滤技术。凭借其强大的软件套件，该模型非常适合研究和工业应用。