二手 ASM ISP-189 #9266308 待售

ASM ISP-189是一种高精度的掩模和晶片检测设备,其设计目的是能够高精度地检查和分析标线、光掩模、基板和晶片。这种光学检测系统能够以高达0.25 µm的精度检测多个视场，而0.1 µm的可重复性提供了高度精确的分析结果。此外，它的机器人能力允许从一个检查站快速无缝地移动到另一个检查站。ISP-189包含一系列检查功能,能够准确评估所有类型的粒子类型、临界尺寸、光刻技术和长期平整度问题。其独特的"子阶段聚焦扫描"能够捕获高亲本图像以进行缺陷分析,而无需额外步骤或单独的高倍率检查单元。此外，该机还配备了高灵敏度模模迭加和对准测量，以优化计量性能。集成的自动对焦功能大大简化了晶圆和标线检查,使重复的手动对焦或阶段调整变得不必要。而且,刀具的多个视角允许对缺陷边缘进行高分辨率检查,而无需旋转晶圆或标线。此外,它的测量功能还包括SNR值、角度判断、圆拟合、椭圆拟合和多达7个倾斜水平的地面视图检查等强大功能。该资产还提供了一个用户友好的图形用户界面（GUI），它配备了一系列高级功能，例如3D检查应用程序。模型结合的3D和图像检测特征通过确定定位和诊断潜在的故障源，提供了更深入的检测结果。此外,一系列专门的软件选项满足特定的应用程序要求,例如用于字符识别应用程序的OCR软件或用于PCB检查的计算机辅助设计（CAD）软件。ASM ISP-189强大可靠的体系结构可确保最大正常运行时间并确保最佳性能。它具有网络支持功能,能够快速无缝地将数据传输到本地PC,以便进行数据分析和存储。此外，其系统的预防性维护功能不需要定期校准和其他昂贵的维护活动。综上所述，ISP-189是一个先进的掩模和晶圆检测设备，能够提供高精度的计量结果与真实的生命图像。其先进的特性、高性能的光学元件、坚固的体系结构、直观的GUI和用户友好的设计使其成为检查和分析掩模、标线、晶片和基板的理想选择。