二手 ASM LBE 139 #9299471 待售

ASM LBE 139是一种自动化的掩模和晶片检查设备，设计用于在组装和制造前检测缺陷。该系统是一种超精密光学检测机，能够检查口罩和晶片，精度高达1 µm。借助白光干涉测量（WLI）进行检查。它利用白光快速捕获高对比度图像，并以低噪声和高精度进行精确测量。该单元配有先进的自适应光学器件，提供了改进的图像质量和均匀的照明。LBE 139上的电动光学器件能够以200 mm/s的最高速度和5µm的分辨率穿过掩模。显着减少了检测的测量时间过程,提供了更高的吞吐量。另外，该阶段具有两个动态聚焦通道，使光学器件能够适应各种工艺高度。随附的软件包ASM Precision Inspector适用于ASM LBE 139仪器和全场工具。该软件提供了高对比度图像，通过强大的滤波和边缘检测算法改进了视觉诠释。这允许用户以更高的精度测量最小的特征大小。软件还协调机动化阶段以进行正确的高速扫描。此外，还提供持续维护和支持，这包括在LBE 139工具的总采购中。这包括全天候技术支持,包括现场服务和远程诊断,使您能够快速解决潜在问题。总体而言,ASM LBE 139是一种可靠可靠的掩模和晶圆检测资产,可通过提高吞吐量提供质量结果。它能够发现最小的缺陷，并且有维修人员随时准备在需要时提供帮助。