二手 ASM LBE 139H #9266307 待售

ASM LBE 139H是一种用于半导体工业的掩模和晶圆检测设备。它配备了双聚焦物镜和高分辨率CCD相机，能够准确捕捉DUV面罩和薄片中最小的特征。该系统采用基于软件的图像分析技术，能够快速准确地检测缺陷，准确度高。该装置能够检测模版错误、划痕、灰尘、氧化物和污染以及掩模和晶片表面上的其他颗粒或材料。它还可以检测布线错误、缺少模式、缺陷、错位和线宽差异。机器还可以精确检测掩模或晶圆间距、线宽、CD宽等特征值，以便测量线宽的精度，评估掩模和晶圆的质量。它还检测开放或短断裂以及线宽变化。此外，该工具还可以检查薄膜均匀性、表面粗糙度等非维信息，并监测晶圆蚀刻和钻孔条件下的趋势。该资产具有广泛的检测范围和高可重复性，使其成为确保DUV掩模和薄片质量的有效工具。它还配备了一个自动化的测量和分析模块，便于快速和准确地检查大批量的口罩或晶片。该模型还能够控制检查区域的扫描速度，同时补偿动态和静态变形，以确保高精度的测量。它还在生产和实验室条件下产生准确的图像和数据。此外，该设备还可以检测抗性变形，并评估图像和缺陷。最后,该系统具有符合人体工程学的用户友好界面,能够轻松有效地运行。还包括润滑、定期自动清洗、防凝等维护支持功能。