二手 ASM LBE139CC #9118769 待售

ASM LBE139CC是一种用于半导体器件制造缺陷自动检测和校正的前沿掩模和晶圆检测设备。该系统使用先进的光学成像技术来检测和定位光刻蒙版和晶片中的缺陷，然后提供一系列用户定义的编辑和校正功能来解决手头的问题。该装置具有一个大的视场光学图像捕获级，配备了独特的5轴运动控制，允许在视场中对掩模和晶片进行极其精确的对准。机器的成像部分之后是一个高级和通用的图像分析和校正软件套件,该套件可自动检测和定位所有类型的掩码或晶片缺陷,并允许对某些特征和形状进行特定的编辑或校正。LBE139CC还提供一系列自动掩模和晶片检查功能,如自动表面地形测量、自动发光检查、自动临界尺寸（CD）测量和自动化学分析。这些功能可自动检查单个掩模/晶片中的多个位置,并提供有关原材料和加工掩模缺陷的详细反馈。该工具还允许比较不同的掩模和晶片之间的测量结果，从而能够快速可靠地覆盖整个制造过程。资产还提供了一系列可定制的报告选项,以确保检查过程的结果可以轻松地与半导体制造工厂内的其他部门共享。该模型还为各部门之间的数据自动传输和数据共享提供了一个平台，便于将掩码和晶圆检验过程无缝地整合到更大的制造工作流程中。总体而言，ASM LBE139CC是一个令人印象深刻且用途广泛的掩模和晶圆检测设备，它提供了一套先进的功能，增强了半导体制造中的质量控制过程。