二手 ASM LBE140CC #9118771 待售

ASM LBE140CC是一种先进的自动掩模和晶圆检测设备,可提供高精度和高速临界尺寸（CD）测量。该系统为各种掩模和晶圆尺寸提供了广泛的测量功能,包括任何尺寸可达600毫米的尺寸的掩模。高级软件提供CD测量、线宽、保护层、异常、缺陷等综合检测报告。LBE140CC通过光学变焦镜头提高了分辨率，提高了测量数据的精度和准确性。增加的放大倍数可用于光掩模检查的范围高达500倍,用于晶圆检查的范围高达100,000倍。该单元还可以测量来自受控深度晶片和掩码的3D图像,帮助检测其他缺陷。ASM LBE140CC还配备了几种自动对焦功能，如运动矢量自动对焦和焦点统计算法，即使在复杂的掩码上也能提供精确的成像和广泛的视角范围。可以输入和监视预定义的"焦点"关注区域（ROI）,并可以实时纠正缺陷和调整焦点级别。LBE140CC提供全面的分析和报告。它具有双重分辨率和分析以及改进的数据输出。该机器还支持图像的自动计算,帮助自动进行与各种库图像的匹配比较。该设备可以准确检测和分析各种特征，如曲线、拐角和划痕。ASM LBE140CC提供简单的操作和维护,同时仍提供高精度和可靠性。多种光源，如卤素、红色LED、激光，允许操作员调整照明，以适应不同应用类型的需求。该工具还为人体工程学设计，易于操作，最大限度地减少操作员疲劳。综上所述，LBE140CC提供了先进的掩模和晶片检查能力，使其成为高精度微加工的重要工具。该资产具有自动对焦、双分辨率、焦点统计算法和综合分析等特点,是实现最优质掩模和晶圆检测的先进解决方桉,有助于确保卓越的生产质量。