二手 ASM TIB 139 #9299463 待售

ASM TIB 139是ASM Technology设计的自动化掩模和晶圆检测设备。该系统允许在半导体制造过程中对掩模和晶片进行快速准确的检查。TIB 139单元由一个自动检查站和相关的基于监视器的软件组成。自动检查站利用一台经过验证的在线机器来测量掩模或晶片上的关键尺寸,以及一台用于精确和快速成像的多轴运动工具。基于监视器的软件用于获取、操作、分析和存储获取的图像。ASM TIB 139资产能够检测口罩和晶片上的各种缺陷。它将图像与预定义的掩码或晶片设计进行比较,并能够标记可能存在的任何缺陷,例如缺少的元素、形状、图桉和迭加配准变化。该模型还可以检测污染，包括颗粒、空隙、针孔和颗粒。TIB 139设备能够成像多种材料，包括氧化铝、硅、不锈钢和石英。它还可以以亚微米精度检查和成像单个掩模或晶片表面的多个层次。此外，该系统还设有高级真空装置，使其能够保持敏感材料处理和成像的受控环境。该机还利用多探测器探针显微镜，用于精确测量临界尺寸、迭加精度等各种特性。总体而言,ASM TIB 139工具是一种通用可靠的掩模和晶圆检测工具.它能够准确检测各种材料上的缺陷，其高级真空资产和多探测器探针显微镜确保它能够在受控环境下提供可靠的结果。