二手 ASM TIB 139 #9299596 待售

ASM TIB 139是一种用于半导体掩模和晶片半自动检测的掩模和晶片检测设备。该系统结合了500万像素、CCD数码相机和一个纳米尺寸的3D成像物镜以及一个自动化的舞台单元和一个掩模和晶圆照明机。这允许工具在生产过程中检测面罩或晶片上的表面缺陷、颗粒和划痕。该资产还具有销售和校准相机和照明模型以获得精确图像的能力。TIB 139可用于多种功能，包括接触和非接触式检查、掩模与晶圆坐标的对齐以及晶圆ID和序列号的模片映射。该设备旨在使检查操作自动化,通过减少所需的体力劳动来提高生产率。此外,可以对系统进行编程以自动识别和拒绝有缺陷的掩码和晶片。ASM TIB 139可用于检查多种半导体工艺，包括深紫外线（DUV）光刻、光刻胶和其他涂层工艺。该单元可以针对不同的晶片和掩模格式进行校准，并允许对不同的曝光剂量和聚焦深度进行自动校准。此外,该机器还可用于在生产过程中侦察视觉缺陷,以及检查由亚可见颗粒造成的污染。TIB 139设计方便操作维护。该工具配有一个大型触摸屏监视器，可以让用户快速、轻松地导航和控制资产。此外，该模型包括手动和自动操作模式，以及允许用户记录和跟踪检查数据的综合数据记录设备。ASM TIB 139是一种方便直观的检测半导体掩模和晶圆的方法。该系统旨在增加生产量和效率，同时减少所需的体力劳动。它的自动化检查功能使用户能够快速、准确地检测表面缺陷、颗粒和划痕,有助于确保产品质量。