二手 ASM TLB 139 #9362813 待售

ASM TLB 139是一种通用的掩模和晶片检测设备,设计用于掩模和晶片表面的自动、高速图样几何形状、缺陷特征和金属分析。该系统能够生成从单点到线性缺陷以及2D和3D阵列几何的缺陷特征的完整轮廓。TLB 139还提供了广泛的模式分析自动化功能，包括用于掩码和标线检查的专用软件包、模式结构分析、CD/OCD测量和波纹分析等。ASM TLB 139的主体利用最新的高精度光学技术，结合高分辨率、两级电荷耦合器件（CCD）相机，使每次检查的分辨率和放大能力都具有极高的细节和精度。通过使用最先进的5轴电动舞台单元,可以为每个特征选择适当的放大倍率和焦点级别。这一过程允许每个检查特征的最佳质量和准确性。TLB 139还配备了自动缺陷识别机,能够准确地自动分类暗弱和强缺陷以及热点。此自动化功能包括各种特征描述符,如曲率、对比度、对称性和大小。使用这些描述符,该工具能够区分和表征现有结构中的周期性缺陷,以及评估是否存在偏移、错位和断开模式。ASM TLB 139还包括用于预定义参数和自定义用户定义设置的综合数据库资产。所有参数都配置并存储在模型的内存中,并通过全面选择预设模式来自动执行掩码和晶圆检查。这一设备还允许在蒙版或晶片的裸露和覆盖区域对不同类型的金属层（如金、铝和铜）进行准确和可靠的检查，并具有完整的蒙版或晶片数据分析和报告能力。总体而言,TLB 139是一个用途极为广泛的掩模和晶片检查系统,配备了最新的高精度光学器件和先进的自动化功能,能够对基本和复杂功能进行平稳可靠的检查。ASM TLB 139具有强大的用户友好功能,为高速模式检查和缺陷表征提供了高效而全面的解决方桉。