二手 ASML / HMI EP3 #293615134 待售

ASML/HMI EP3是一种掩模和晶圆检测设备，旨在为半导体织物提供高分辨率成像和临界检测能力。该系统由集成了最先进的场发射电子源的电光柱和固态成像柱组成。多区光学单元配备了激光光源和消磁光学器件，提供了大视野和延伸的聚焦深度。采用多角度成像技术在保持高放大倍率的同时减少失真。多束电子扫描头包含一个二次电子探测器和一个居中场发射电子源，能够产生具有可变加速电压高达100kV的光束。光束能够产生高对比度成像与晶体结构存在于样品。成像模块与广泛的控制和数据采集电子设备集成在一起。该单元的软件模块提供了一个直观和操作员友好的图形用户界面，具有长期的数据存储和检索功能。检测结果可集成在工艺控制机中，用于掩模和晶圆制造工艺的精密控制。HMI EP3还允许通过提供用户定义的检查区域、详细的错误表以及可编程的数据存储和检索功能来自定义单个工厂需求。此外，该工具可靠、高效和准确，能够在指定的测试参数内取得精确的结果。该资产允许用户控制同一样本的多个视图,从而实现更好的分辨率和图像质量。多光束操作可增加扫描时间,并且光束控制可实现多边形级别的精确详细信息。此外,掩码和晶圆成像软件允许操作员定义检查区域,跨多层监视它们,并隔离成像过程中遇到的任何错误。总之，ASML EP3是一种先进的掩模和晶圆检测模型，旨在提供可靠高效的性能，具有高分辨率成像和临界检测能力。该设备可根据各工厂的要求进行定制,并可实现精确的错误监控和数据检索。多区光学成像、多束电子扫描头、人性化的软件界面，使该系统成为半导体行业生产过程控制和检测的理想选择。