二手 BROOKS AUTOMATION BL-200 #9079943 待售

BROOKS AUTOMATION BL-200是提供单模和多模检测功能的下一代掩模和晶圆检测设备。该自动检查系统非常适合半导体制造操作的掩模和晶圆阶段的初始设置、设计验证和过程参考检查。该单元具有高度敏感的2D检测原理，使用多线激光传感器检测甚至最小的粒子或缺陷。这些激光器安装在设备的前部和后部,以提供从上到下的覆盖。可以在机器上增加一个额外的LED光源，以改善对非光学缺陷的检测，例如划痕和其他疲劳特征。该工具还配备了多种功能,以方便资产设置和操作,包括用户友好的触摸屏界面、自动模型校准功能以及通过基于Web的GUI的远程操作功能。此GUI允许轻松访问基本设备信息,例如检查结果、输入和设置。BL-200系统可以安装在任何方向和任何表面上。一系列兼容的真空和端口格式确保了完美的配合，使设备能够在不同的检查站之间快速移动。机器由强大的图像处理引擎提供动力，使其能够在一次扫描中准确快速地检查多个模具。它可以识别一系列缺陷，包括表面污染物、毛刺和划痕。它还可以检测针脚缺陷和边缘像差，以及电子缺陷，如短裤和打开。除了核心检查能力外，BROOKS AUTOMATION BL-200工具还提供高级缺陷分析，使其能够查明和分类复杂的缺陷；集成光学散射分析模块,可快速识别特定模具上的孤立或聚类缺陷；以及"模式匹配"功能,用于检测和测量已知的模式或线条。BL-200掩模和晶圆检测资产结合了先进的特性和可靠的性能,非常适合满足当今半导体制造商的需求。它提供最大速度、最佳精度和一致的性能,以确保产品质量达到最高水平。