二手 BROOKS AUTOMATION Zaris #9257397 待售

BROOKS AUTOMATION Zaris
ID: 9257397
Reticle inspection system.
BROOKS AUTOMATION Zaris是来自BROOKS AUTOMATION的掩模和晶圆检测设备。它是一个全自动系统,在制造过程中检查口罩和晶片是否有任何缺陷和污染物。该设备即使是最小的缺陷也能准确检测和定位,以提供客户在做出关键任务决策时所需的可见性和信心。该机设计为提供高通量、高灵敏度的自动检测。它能够检查各种掩模和晶片尺寸,最多有四个晶片尺寸和十二个掩模尺寸。该工具有两个检查头选项:ATR(自动目标识别)和SEC(随机边缘比较)。ATR用于复杂缺陷检测和定位,SEC用于细粒缺陷检测和假性阴性最小化。Zaris具有图像捕获、分析和审阅功能。资产采用针对每种产品定制的专门检查算法,以准确检查可能影响设备性能、产量和可靠性的不可见缺陷。它还利用先进的成像算法改善缺陷检测,减少误报。独特的自动化机器学习功能有助于优化图像捕获和测量窗口大小,以确保在掩模或晶片的整个表面上进行准确的测量。检查结果以各种格式显示,供用户快速评估数据。BROOKS AUTOMATION Zaris还提供了表面地形信息和详细缺陷图的3D可视化。使用直观的用户控制,设置既快捷又简单,而且该模型可实现自动质量控制。它还提供高设备稳定性和可重复的性能,以确保一致的结果。Zaris是一个领先的掩码和晶片检查系统,它为客户提供了能够可靠地快速检查、定位和表征复杂缺陷的能力。它具有先进的成像和自动化分析功能,非常适合任何质量控制需求。通过提供高性能的自动化检查,BROOKS AUTOMATION Zaris提供了客户在做出关键任务决策时所需的可见性和信心。
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