二手 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397354 待售
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CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300是一种精密的掩模和晶片检测设备,旨在检测掩模和晶片制造的生产和包装阶段的缺陷。该系统采用自上而下和自下而上的检测方法,最大限度地提高缺陷检测的精度,并具有高达300 nm的缺陷分辨率。HSEB Axiospect 300的独特设计无缝地适应了实验室规模和大批量生产运行。这是一个熟练的构造与optomechanical负载端口和电梯不对准和基板平整度(+/-2 μ m)校正能力。这一突破性单元已被证明即使在最具挑战性的环境中也是坚固的,对于200毫米和300毫米晶圆都是如此。CARL ZEISS Axiospect 300利用高性能光学。它具有450视场(FOV)镜头机优化信噪比,精密计量和缺陷检测的5轴级,以及允许自动缺陷分类的数字信号处理(DSP)工具。Axiospect 300具有专门的计量版本,用于掩模和晶片面板的高级检查和维修。它具有"教与学"自动聚焦资产,可减少手动调整所需的时间,并提高检查的准确性。其"Live Preview"功能进一步增强了精确对齐,并有助于快速识别缺陷。此外,模型还采用了自动缺陷修复工具,以高效的方式消除定义的缺陷。这种设备可以自动修复几乎任何类型的缺陷,这要归功于它强大的图像分析算法优化晶圆检查。此外,CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300还对整个半导体晶片进行了检查,并使用与ASML和电子束光刻系统协调一致的高级软件构建。HSEB Axiospect 300为用户提供了一个完整的、增强的成像解决方桉,可帮助在掩模和晶圆制造的各个生产和计量阶段快速准确地检测和修复缺陷。CARL ZEISS Axiospect 300以其卓越的功能集,是全球口罩、晶圆制造和生产工厂的理想选择。
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