二手 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397355 待售

CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300是一种先进的自动化掩模和晶圆检测设备，用于半导体器件的高分辨率成像、测量和分析。它具有多反射光学器件和高性能传感器的独特组合，能够对构成掩模和晶片的错综复杂的图桉进行详细而准确的检查。该系统包含一个集成的光学传输单元，高数值孔径（NA）为0.5，具有模块化变焦，可以用来容纳各种尺寸的晶片。HSEB提供的视野可以从0.2毫米到1.2毫米不等,并且能够捕获和测量最小的结构,最小的结构可达0.5 μ m。它能够在亮场和暗场成像模式下成像，并配备了多站点扫描的自动化阶段。CARL ZEISS的成像子系统使用高分辨率CCD相机来捕捉12位动态范围的图像。它拥有一个由平面荧光照明器、单色器和集成激光二极管组成的精密光源。该光源用于创建多通道图像，以及具有四种不同激发波长的多波长成像。该机器提供了多种图像处理工具，包括傅立叶变换、二进制滤波器、形态滤波器和图像分割。这些特性使得区分诸如粒子缺陷、线条甚至受阻图像等特征变得容易，包括晶圆上单层内的缺陷甚至两层之间的缺陷。CARL ZEISS/HSEB还提供了广泛的灵活测量选项,例如线宽测量、迭加计算或长宽比评估。它还配备了一个自动缺陷分类器和一个审查站，简化了检查过程。最后,集成数据库允许自动存储结果以供将来分析。总体而言，HSEB Axiospect 300是一种先进和通用的掩模和晶圆检查工具，提供高分辨率成像、测量和复杂图像分析的组合；非常适合半导体器件的检测、研发。